У процесу плазма-хемијског таложења из парне фазе (PECVD), свака електрична веза, од преноса РФ снаге до контроле процесног гаса, директно утиче на једнообразност таложења танког филма и принос чипа. Суочавајући се са суровим окружењем минијатуризоване опреме, високим вакуумом и јаким електромагнетним сметњама,ВАГОpicoMAX® конектори, са своје три основне предности „компактност, поузданост и ефикасност“, постали су идеално решење за повезивање PECVD система.
Иновативни компактни дизајн
Прилагођавање распореду прецизних комора
Унутрашњи простор PECVD опреме је ограничен, што захтева густ распоред водова за напајање, сигнал и сензора око реакционе коморе. picoMAX® користи дизајн са једном опругом и двоструким дејством, са вишеструким распоредима пинова од 3,5/5,0/7,5 мм. Након спајања, заузима 30% мање простора од претходних производа, савршено се прилагођавајући захтевима за ожичење око коморе. Његов конектор са рупом је скоро потпуно уграђен у прикључак за пинове, подржавајући упоредо склапање без губитка полова, значајно побољшавајући искоришћење штампане плоче и омогућавајући уредан распоред сигналних и водова за напајање без ометања поља протока процесног гаса.
Робусна заштита од екстремних радних услова
PECVD процеси укључују окружења са високим вакуумом, високофреквентном плазмом и вибрацијама, што поставља строге захтеве на поузданост конектора. picoMAX® има стабилну структуру са отпорношћу на вибрације до 12g, спречавајући лабављење споја изазвано високофреквентним вибрацијама. Такође укључује дизајн против погрешног уметања и уређај за закључавање, елиминишући грешке при инсталацији и спречавајући случајно искључивање, обезбеђујући континуирани рад опреме без застоја.
Брзо повезивање без алата
picoMAX® користи технологију брзог повезивања без алата, омогућавајући „укључи и држи“ везе за једножичне и вишежичне жице са хладно пресованим конекторима. Сложени спојеви ожичења се завршавају у једном кораку, значајно побољшавајући ефикасност монтаже и скраћујући циклусе отклањања грешака. Модуларни дизајн је компатибилан са процесима лемљења рефловом, задовољавајући потребе смањења трошкова аутоматизоване производње. Такође покрива све PECVD сценарије повезивања: размак између пинова од 3,5 мм одговара сигналним жицама од 0,2-1,5 мм², док размак између пинова од 5,0/7,5 мм подржава водове за напајање од 16А. Подржава методе инсталације од жице до плоче и кроз зид, компатибилан је са ожичењем у контролном ормару и шупљинама и у складу је са стандардима електричне безбедности GB/T 5226.1, градећи чврсту одбрану за стабилност процеса.
У полупроводничкој индустрији, где је прецизност процеса на нанометарском нивоу од највеће важности, поуздане везе су гаранција високог приноса.ВАГОpicoMAX®, са својим револуционарним концептом дизајна производа, постиже „малу величину, високе перформансе“ у компактном оквиру, пружајући стабилна, ефикасна и дуготрајна решења за повезивање PECVD опреме. Ово помаже произвођачима полупроводника да превазиђу изазове прецизних процесних повезивања, чувајући прецизност сваког чипа на микрометарском нивоу.
Време објаве: 13. март 2026.